L'impiego degli O-Ring in applicazioni di tenuta del vuoto si differenzia rispetto all'uso che solitamente ne viene fatto, per le dimensioni e la finitura della sede che ospita l'anello.
Infatti per garantire la tenuta sotto vuoto le sedi devono avere dimensioni tali da permettere all'O-Ring di occupare quasi interamente lo spazio disponibile; in questo modo tutte le superfici della sede diventano superfici di tenuta e quindi la loro finitura deve essere molto accurata. Ai fini di garantire un buon effetto di tenuta è opportuno utilizzare mescole con un basso coefficiente di penetrazione ai gas e un basso Compression Set, particolarmente importante in relazione allo schiacciamento che l'O-Ring subisce da più lati. Per diminuire la penetrazione dei gas e la perdita di peso delle mescole in presenza di vuoto, legate alla liberazione delle cariche più volatili, possono essere impiegati particolari lubrificanti.
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